第15章 搞科研的难(第1/2 页)
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两分钟后，
随着仿真视频里的内容不断的深入，光刻机里面的一些细小运作全部都呈现在了电脑屏幕当中。
“高总您看，这个光刻机里面的激光似乎不像奶牛国光刻机内部的走向！”
“奶牛国为了提供更短的波长光源，运用极紫外光源。”
“在光刻的时候，利用二氧化碳激光照射到锡等靶材上面，激发出13.5纳米的光子，作为光刻机的光源。”
“而这上面标注的是，利用寻常紫外光源，通过在真空中发射超长紫外光，激发出5纳米的光子，作为光刻机的光源。”
钱磊一边看着视频一边解释着。
这种概念是前所未有的。
因为在人们的印象当中，超紫外光源一直都是高精度光刻机所需要的，寻常紫外光源根本就达不到那样的精度。
因为紫外光源是UV光刻机才会用到的，无论是精度还是性能和EU
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